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顯微鏡的照明觀測方式有哪些
發布時間:2021-06-06 瀏覽次數:236 信息來源:中北光電(山東)有限公司

應用顯微鏡一般是先通過低倍顯微鏡觀察整體形貌和缺陷,然后用高倍顯微鏡進一步確認缺陷,比如裂紋,斷裂,沾污,變形等異常,數碼顯微鏡廠家常用的顯微鏡的照明觀測方式有明場,暗場,干涉照明,偏振光,熒光顯微鏡等。

明場照明:

顯微鏡明場照明的圖像是由反射光形成的,光源的入射光垂直射向樣品表面,從樣品表面反射后重新進入物鏡,大部分的反射光線會返回,因而照明強度大,適用于表面平整的樣品,明場觀測到的發暗的或者不清晰的區域可能是由于表面不平所致。

暗場照明:

入射光是以一定的角度發出的,這樣就可以使一些從側面或者不平的表面反射的光被光路系統接收,因而可以觀測到明場看不到的一些微觀形貌,能得到比較理想的圖像,即暗場照明是通過接收傾斜光和阻隔入射光來提供反差,對一些精細特征如空洞,裂縫和分層等進行檢查時比較有效。

偏振光:

偏振光照明是利用偏振器將入射光變為平面偏振光提供反差,偏振光將所有與分析儀不平行的光濾掉,此方法能提供各相異性金屬和相位的微觀結構反差。另外在失效分析中用的較多的是液晶熱點探測, 起偏器濾掉沒有極化的入射光,把極化的偏振光入射到樣品表面,將檢偏器進行轉動直到達到理想的對比度,找到液晶溫度異常點,即發暗的區域。

微分干涉照明:

微分干涉相襯顯微術,原理是將來自均勻的光源的光束分裂,一束光用作參考,另一束光則由樣品改變,然后組合成樣品的完整圖形,這個過程對圖形的微小變化及其敏感,尤其在較高的放大倍數下更明顯,它可以使樣品表面很細微的細節變得非常明顯,很多明場無法觀測到的細節得以觀測,比如存在凸凹結構的表面,利用差動干涉成像很有效。

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